Litografimaskin Mask Aligner fotoetsingsmaskin
Produktintroduksjon
Eksponeringslyskilden bruker importert UV LED og lyskildeformingsmodul, med liten varme og god lyskildestabilitet.
Den omvendte belysningsstrukturen har god varmespredningseffekt og lyskildenær effekt, og utskifting og vedlikehold av kvikksølvlampen er enkel og praktisk. Utstyrt med binokulært dobbeltfeltsmikroskop med høy forstørrelse og 21 tommers widescreen LCD, kan den visuelt justeres gjennom
okular eller CCD+-skjerm, med høy justeringsnøyaktighet, intuitiv prosess og praktisk betjening.
Funksjoner
Med fragmentbehandlingsfunksjon
Utjevning av kontakttrykk sikrer repeterbarhet gjennom sensor
Justeringsgapet og eksponeringsgapet kan stilles inn digitalt
Ved hjelp av innebygd datamaskin + berøringsskjermbetjening, enkel og praktisk, vakker og sjenerøs
Trekk type opp og ned plate, enkelt og praktisk
Støtt vakuumkontakteksponering, hard kontakteksponering, trykkkontakteksponering og nærhetseksponering
Med nano imprint grensesnitt funksjon
Enkeltlags eksponering med én tast, høy grad av automatisering
Denne maskinen har god pålitelighet og praktisk demonstrasjon, spesielt egnet for undervisning, vitenskapelig forskning og fabrikker i høyskoler og universiteter
Flere detaljer
Spesifikasjon
1. Eksponeringsområde: 110 mm × 110 mm;
2. ★ Eksponeringsbølgelengde: 365nm;
3. Oppløsning: ≤ 1m;
4. Justeringsnøyaktighet: 0,8m;
5. Bevegelsesområdet til skannebordet til justeringssystemet skal minst møte: Y: 10 mm;
6. Venstre og høyre lysrør i justeringssystemet kan bevege seg separat i X-, y- og Z-retninger, X-retning: ± 5 mm, Y-retning: ± 5 mm og Z-retning: ± 5 mm;
7. Maskestørrelse: 2,5 tommer, 3 tommer, 4 tommer, 5 tommer;
8. Prøvestørrelse: fragment, 2 ", 3", 4 ";
9. ★ Egnet for prøvetykkelse: 0,5-6 mm, og kan støtte 20 mm prøvestykker på det meste (tilpasset);
10. Eksponeringsmodus: timing (nedtellingsmodus);
11. Uensartet belysning: ＜ 2,5 %;
12. Dobbeltfelt CCD-justeringsmikroskop: zoomobjektiv (1-5 ganger) + mikroskopobjektiv;
13. Maskens bevegelsesslag i forhold til prøven skal minst møte: X: 5 mm; Y: 5 mm; : 6º；
14. ★ Eksponeringsenergitetthet: > 30MW / cm2,
15. ★ Justeringsposisjonen og eksponeringsposisjonen fungerer på to stasjoner, og de to stasjonens servomotorer bytter automatisk;
16. Utjevning av kontakttrykk sikrer repeterbarhet gjennom sensor;
17. ★ Justeringsgapet og eksponeringsgapet kan stilles inn digitalt;
18. ★ Den har nano-imprint-grensesnitt og nærhetsgrensesnitt;
19. ★ Berøringsskjermoperasjon;
20. Totaldimensjon: Ca 1400mm (lengde) 900mm (bredde) 1500mm (høyde).
